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2020-11-25 10:37:36 責(zé)任編輯: 廢氣處理設(shè)備制造廠商 0
當(dāng)今社會(huì)已進(jìn)入以半導(dǎo)體技術(shù)為核心的信息時(shí)代,半導(dǎo)體技術(shù)是一個(gè)國(guó)家科技水平,工業(yè)水平和綜合國(guó)力的體現(xiàn),但半導(dǎo)體生產(chǎn)中會(huì)產(chǎn)生大量的有毒有害氣體,這些有毒有害物質(zhì)如車(chē)間內(nèi)的濃度超標(biāo)會(huì)對(duì)操作人員造成極大傷害,未經(jīng)廢氣處理設(shè)備有效的處理就排入室外會(huì)造成大氣污染。
其中含毒性廢氣主要來(lái)源為化學(xué)氣相沉積(CVD)、干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子注入及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生,由于以上制程均使用大量的毒性氣體,因此在機(jī)臺(tái)本身即設(shè)置有廢氣處理設(shè)備local scrubber作先行處理。
吸附式廢氣設(shè)備處理local scrubber以吸附桶完全處理設(shè)備廢氣,有著沒(méi)有明火、無(wú)塵室內(nèi)不產(chǎn)生火源;節(jié)省能源、沒(méi)有高耗能的需求;不需要耗用水資源,沒(méi)有廢水處理問(wèn)題等優(yōu)點(diǎn)。
制程過(guò)程產(chǎn)生的含毒性廢氣在風(fēng)機(jī)壓力下由入氣口管道進(jìn)入主吸附桶,廢氣中需要處理的有毒氣體組分如PH3、SiH4等在主吸附桶中被吸附劑吸附處理,吸附后的廢氣經(jīng)變色球檢驗(yàn)后從出氣口排出,再送至central scrubber 做水洗中和處理后,最后排入大氣,確保廢氣處理的安全性處理過(guò)程中沒(méi)有危害。
以上,簡(jiǎn)單介紹了在半導(dǎo)體制程工藝中含毒性廢氣的主要來(lái)源工序、危害性和吸附式廢氣處理設(shè)備處理過(guò)程。感謝您的閱讀,想了解更多尾氣廢氣處理設(shè)備參數(shù),請(qǐng)聯(lián)系我們!