每當(dāng)談及集成電路制造，業(yè)內(nèi)人士大多都會(huì)說到晶圓、光刻機(jī)等設(shè)備。然而在芯片制造領(lǐng)域，有一個(gè)領(lǐng)域時(shí)常易于被忽視卻有著至關(guān)重要的作用，那便是氣體。

電子氣體之所以尤為關(guān)鍵，在于芯片制造過程中離不開它的身影。一片硅晶圓在拋光處理及一系列嚴(yán)格篩查后，還需要經(jīng)歷光刻、薄膜、刻蝕、清洗、注入等幾大工藝，近千個(gè)步驟才能最終成為一個(gè)芯片。在這個(gè)過程中，幾乎每個(gè)環(huán)節(jié)都少不了氣體的介入。而從單個(gè)芯片生成到最后器件的封裝，也都不離不開電子氣體。

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半導(dǎo)體器件制造所涉及的電子氣體，在純度與精度上都有著十分嚴(yán)苛的要求。一旦某一種特定雜質(zhì)超標(biāo)，都可能直接導(dǎo)致產(chǎn)品的嚴(yán)重缺陷，甚至因?yàn)椴缓细駳怏w的擴(kuò)散，導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)線被污染或報(bào)廢。因此可見，電子氣體的品質(zhì)直接影響了半導(dǎo)體器件性能的好壞，也對氣體供應(yīng)商形成了較高的技術(shù)壁壘。

縱觀過去，電子制造行業(yè)所需的部分高純氣體、稀有氣體及混合氣體大都需要依賴于進(jìn)口，而沃飛科技WOFLY卻在創(chuàng)新發(fā)展中打破了這一局面。在服務(wù)電子制造行業(yè)方面，公司已有多年的豐富經(jīng)驗(yàn)，始終將應(yīng)用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域的特種氣體及大宗氣體作為重點(diǎn)研發(fā)方向，能夠?yàn)槿虮姸嘀碾娮又圃焐坦?yīng)各類大宗高純氣體，包括氮?dú)狻錃?、氧氣、氬氣、氦氣等，確保半導(dǎo)體器件生產(chǎn)環(huán)境中電子氣體供應(yīng)的質(zhì)量。

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公司在系統(tǒng)安全、供氣穩(wěn)定、連續(xù)不中斷的前提下，嚴(yán)格保證氣體的品質(zhì)及可靠性，包括對氣體的壓力、露點(diǎn)、雜質(zhì)、顆粒度、流速等都有嚴(yán)格精度要求，每一步均有嚴(yán)格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施，確保運(yùn)輸和使用過程中產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定，避免二次污染。此外，公司還可為電子制造行業(yè)提供一站式的整體解決方案，滿足各種工藝環(huán)節(jié)的應(yīng)用需要。同時(shí)，豐富的行業(yè)服務(wù)經(jīng)驗(yàn)與高效的執(zhí)行力，讓公司能夠充分滿足電子制造行業(yè)嚴(yán)苛的用氣需要，縮短供貨周期，降低成本, 提高供貨穩(wěn)定性。

隨著近些年來國內(nèi)集成電路晶圓廠日益增多，及原有晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)充和技術(shù)升級(jí)，電子氣體迎來了新一輪的增長機(jī)遇和挑戰(zhàn)。因此，沃飛科技積極應(yīng)對芯片技術(shù)飛躍對氣體品質(zhì)所帶來的挑戰(zhàn)，憑借其豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)、領(lǐng)先的工藝水平和可靠穩(wěn)定的供應(yīng)，積極支持產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，攜手眾多國內(nèi)外領(lǐng)先的集成電路制造企業(yè)共同探索電子氣體供應(yīng)的關(guān)鍵意義，助力電子設(shè)備開發(fā)環(huán)境中所需的電子氣體的品質(zhì)供應(yīng)，全力推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步，賦能“中國芯”戰(zhàn)略。