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坤化氫AsH?廢氣處理——半導(dǎo)體制程尾氣處理設(shè)備

坤化氫AsH?廢氣處理——半導(dǎo)體制程尾氣處理設(shè)備

發(fā)布時間:2020-12-08
隨著制程技術(shù)不斷演進,使得相關(guān)供應(yīng)系統(tǒng)等級及質(zhì)量日趨精密且復(fù)雜,其廢氣問題也越發(fā)凸顯,如毒性氣體、化學(xué)藥品等所產(chǎn)生的廢氣,便是造成環(huán)境惡化的來源之一,因此,如何處理此類高純度且大量的毒性物質(zhì)之排放,是尾氣處理設(shè)備和廢氣治理的重要工作與任務(wù)。坤化氫AsH?,也稱砷烷,是一種無色劇毒氣體,常用于半導(dǎo)體工業(yè)中,如外延硅的N型摻雜、硅中N型擴散、離子注入、生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與某些元素形成化合物半導(dǎo)體。 坤化氫對人體的危害性:砷化氫是強烈的溶血性毒物,砷化氫中毒程度與吸入砷化氫的濃度密切相關(guān),潛伏期愈短則臨床表現(xiàn)愈嚴重。輕度中毒有頭暈、頭痛、乏力、惡心、嘔吐等癥狀;重度中毒發(fā)病急劇,有高熱、昏迷、抽搐、急性腎功能衰竭及全身重度黃疸等癥狀;對心、肝、肺等也有直接的毒害作用。 對于坤化氫AsH?的廢氣處理可采用吸附式尾氣處理設(shè)備,有吸附效率好、無高耗能需求、無塵室不產(chǎn)生火源等特點;同時設(shè)備各管路進、出口設(shè)計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器,針對設(shè)備運行時各種狀況,全面監(jiān)控;確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害。綜上,如坤化氫AsH?此類物質(zhì)的高純度廢氣排放會對環(huán)境和周邊人員的生命安全造成很大的影響,所以,在排放前應(yīng)經(jīng)尾氣處理設(shè)備進行處理后方可排放。關(guān)于坤化氫AsH?廢氣尾氣處理設(shè)備的介紹就到這了,感謝您的閱讀!
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